还可以去gigapedia.org搜和下载 原帖由 熊猫羊 于 2007-10-10 12:56 发表 http://www.dolc.de/forum/images/common/back.gif
讲MF和MA或者LoC的英文书我有不少,
还可以去gigapedia.org搜和下载
:D :D
早去搜过了。这本最好的到处都找不到。
主要是这方面国内起步比较晚,专业人士很少。不到10个。
谢谢熊猫了。 介个东东本来就很交叉,沟道光刻的时候一般都要求高横纵比,不是LIGA就得用同步辐射,都是国内的软肋,作出LIGA的就几个研究所,同步辐射光源现成的就两个,不过LoC是在建的上海光源的一大重点 搜台湾的网站吧,SoC强,LoC自然不弱 原帖由 熊猫羊 于 2007-10-10 13:15 发表 http://www.dolc.de/forum/images/common/back.gif
介个东东本来就很交叉,沟道光刻的时候一般都要求高横纵比,不是LIGA就得用同步辐射,都是国内的软肋,作出LIGA的就几个研究所,同步辐射光源现成的就两个,不过LoC是在建的上海光源的一大重点
现在有研究用nL级别的microcontact printing based digital MF device.
只是还没到应用级别。精度也不高。
国内的仪器跟不上,技术自然就粗糙了。
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